空调机房靠近要求送风量大的洁净室,力求风管的线路。但从防止噪声和振动来说又要求把洁净室与机房隔开。这两方面都予以考虑。隔开方式有:构造分离方式。有以下几种:(1)沉降缝隔开式。使沉降缝在洁净室与机房之间通过,起分割作用。(2)夹壁墙隔开式。如果机房紧靠洁净室,不是公用一面墙隔墙,而是各自有各自的隔墙,而两面隔墙之间留有一定宽度的夹缝。(3)辅助室隔开式。在洁净室与机房之间设辅助室,芯片厂净化,起缓冲作用。
洁净室建筑装饰的重要性主要表现在以下两个方面:(1) 对综合性能的影响:洁净室要求材料不产尘,结构不积尘,密封严密不透尘。所以洁净室的装饰会直接洁净效果。(2) 对于造价的影响到:洁净室与一般办公楼相比,芯片厂净化工程施工,是高造价的建筑物。双层地面:是典型的垂直单向流洁净室的地面。总特点是:可以地面回风,透气性好,芯片厂净化工程,造价高,芯片厂净化车间施工,弹性差。水磨石地面。总特点是:光滑,不易起尘,整体性好,可冲洗,防静电,无弹性。
废气工程:由于半导体工艺对操作室清洁度要求---,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。
空压气体工程:螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成:空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
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