洁净室(区)内设置真空泵时,天津实验室装修公司,应符合下列规定:1.电子工厂装修对于传输、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵,应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2.对传输含有可燃气体的真空泵,天津实验室装修报价,可燃气体浓度超过下限的20%时,应设尾气处理装置,在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3.使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统。
顶部技术夹层。在这种夹层内一般因送、回风管的断面,故作为夹层内首先考虑的对象。一般将其安排在夹层的上方,其下安排电气管线。当这种夹层的底板可承受一定重量时,可以在上面设置过滤器及排风设备等。房间技术夹层。这种方式和只有顶部夹层相比,可以减少夹层的布线与高度,天津实验室装修,可以省去回风管道返回上夹层所需的技术夹道。在下夹道内还可设回风机动力设备配电等,某层洁净室的上夹道可以兼做上一层的下夹道。
废气工程:由于半导体工艺对操作室清洁度要求---,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。
空压气体工程:螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成:空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
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