洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1．电子工厂装修对于传输、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。
上下夹层内的水平管线一般都要转向为竖向管线，这此竖向管线所在的隐蔽空间即技术夹道。技术夹道还可以放置不宜在洁净室内的一些辅助设备，甚至还可以作为一般回风管道或静压箱，天津实验室装修公司，有的可安设光管型散热器。如果说技术夹道（墙）往往不越层，则需要越层时即用技术竖井，天津实验室装修报价，并且经常作为建筑结构的一部分，具有性。由于技术竖井把各层起来，为了防火，内部管线安装完成后，要在层间用耐火---不低于楼板的材料封闭，检修工作分层进行，检修门必须设防火门。
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