各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理,简称“物净”。物料净化路线与人净路线应分开,如果物料与人员只能在同一处进入洁净室,检测室装修效果图,也必须分门而入,物料并先经过粗净化处理。对于生产流水线不强的场合在物料路线中间可设中间库。如果生产流水线很强,则采用直通式物料路线,检测室装修工程,有时还需要在直通路线中间设多次净化、传递设施。在系统设计上,物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒,所以相对洁净区应保持负压或零压,如果污染危险性大则对入口方向也要保持负压。
洁净室使用的木材的含水率不应大于16%,武清检测室装修,并且不得外露使用。由于洁净室换气次数大,相对湿度低,检测室装修施工,如大量使用木材,易干裂、变形、松动、产生灰尘等,即使用也要局部使用,并且一定要做好防腐防潮处理。一般洁净室需用石膏板时必须用防水石膏板,而对于生物洁净室由于经常用水擦洗和用消毒液冲洗,即使防水石膏板也要受潮变形,不耐冲洗,所以规定生物洁净室不应采用石膏板作罩面材料。
废气工程:由于半导体工艺对操作室清洁度要求---,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类:酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。
空压气体工程:螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成:空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
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