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洁净厂房的安全出口的设置，应符合下列规定：1．丙类生产的电子工业洁净厂房，天津电子厂净化工程，在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离可按工艺需要确定，天津电子厂净化工程，但不得大于规定的安全疏散距离的1.5倍。2．工厂装修时要给每一生产层、每个防火区或每一洁净室的安全出口数目，天津电子厂净化工程---，应符合现行<洁净厂房设计规范>的有关规定。3．安全出口应分散布置，并应设有明显的疏散标志；安全疏散距离应符合现行<建筑设计防火规范>的有关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启，并应设观察玻璃窗.

洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1．电子工厂装修对于传输、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。